電感耦合等離子體光譜儀作為元素分析的核心設備，其性能穩定性和檢測結果準確性高度依賴于科學規范的養護。以下是針對儀器關鍵部件及系統的養護方式詳細說明，涵蓋日常維護、定期保養、操作規范及環境管理等方面。
一、日常維護要點
1. 進樣系統養護
- 沖洗程序：每次測試結束后，需用5%硝酸溶液沖洗進樣管路5-10分鐘，隨后以超純水沖洗3分鐘，清除殘留樣品或沉淀物。對于高鹽或高濃度樣品，建議增加10%甲醇沖洗步驟以溶解潛在結晶。
- 蠕動泵維護：每日檢查泵管彈性，若出現硬化、裂紋或磨損(如壓痕深度>0.5mm)，立即更換。每月清潔泵頭凹槽，避免樣品殘留腐蝕金屬部件。
- 霧化器保養：測試后用清水噴霧清洗霧化器至少5分鐘，定期(每周)拆卸霧化器，以棉簽蘸取稀硝酸擦拭內壁，防止鹽分堵塞。
2. 等離子體源維護
- 氬氣純度監控：確保氬氣純度≥99.995%，每日檢查氣路連接是否漏氣(可用肥皂水試漏)。更換氬氣瓶時，需充分排放管道內空氣，避免氧氣進入導致炬管損壞。
- 炬管狀態檢查：每測試500-800小時或發現等離子體不穩定時，檢查炬管有無燒蝕、變形或積碳。若出現異常放電、等離子體發藍或閃爍，需停機更換中心管或旋流環。
3. 光學系統維護
- 透鏡清潔：每日測試前后用無塵布蘸取乙醇擦拭石英窗片，去除指紋或油污。每月使用專業鏡頭紙清潔分光系統反射鏡，避免灰塵影響光路。
- 波長校準：每周開機后執行汞燈或氖燈校準，檢查特征譜線偏移量是否在±0.01nm范圍內，超出則需重新調整光柵位置。
二、定期深度保養
1. 氣體流量系統
- 質量流量計校準：每季度使用標準流量計校驗氬氣工作氣、輔助氣及載氣的流量偏差，要求誤差<2%。若重復性差，需清洗流量計傳感器或更換濾芯。
- 氣路干燥處理：潮濕地區每月檢查氣路過濾器，更換分子篩干燥劑，防止水分進入等離子體引發放電不穩。
2. 檢測器維護
- CCD/CID探測器清潔：每半年停機后，在無塵環境下打開檢測器倉，用氮吹掃表面灰塵，避免手指接觸芯片。若檢測暗電流顯著升高，需聯系廠商進行增益校準。
- 制冷系統檢查：每年檢測半導體制冷片溫度控制精度，確保-20℃±1℃穩定運行，防止高溫導致探測器噪聲增加。
3. 電路與軟件維護
- 接地電阻檢測：每月測試儀器接地電阻，要求≤4Ω。若電阻偏高，需加粗接地線或增設接地點。
- 軟件版本更新：定期檢查廠商發布的固件補丁，升級數據采集或定量分析算法，修復潛在計算誤差。
三、環境與操作規范
1. 實驗室環境控制
- 溫度：20-25℃(±2℃)，避免光學元件熱脹冷縮導致波長漂移。
- 濕度：<60%RH，高濕度地區需配置除濕機，防止電路板受潮短路。
- 潔凈度：配備空氣凈化器，保持PM10<50μg/m³，避免顆粒物污染光路。
2. 開關機規范
- 開機順序：先通氬氣排空5分鐘→開啟冷卻循環水→啟動主機→預熱30分鐘。
- 關機順序：熄滅等離子體→待炬管冷卻至<50℃→關閉主機→關閉氬氣。嚴禁直接斷電導致炬管過熱損壞。
3. 異常處理預案
- 突發熄火：立即檢查氬氣壓力，若正常則排查炬管位置或樣品引入系統堵塞。
- 基線噪聲增大：依次檢查屏蔽線連接、電源干擾及檢測器溫度穩定性。
